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产物名称： Verios™5 XHR扫描电镜产物型号： TFE000053产物时间： 2020-06-29
客服热线：4008005586
Thermo Scientific™ Verios ™ 5 XHR SEM可在1 keV至30 keV的整个能量范围内提供亚纳米级的分辨率，并具有出色的材料对比度。自动化和易用性水平使该性能可供任何经验水平的用户使用。对于材料科学家来说，热科学Verios 5型XHR通过将亚纳米特性扩展到目前正在开发的新材料（如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物物体和其他纳米尺度结构）。
产物介绍
5XHRSEM提供了研究应用的所有灵活性，以容纳大样本，如全晶片或冶金样品，执行快速分析由于其高电流模式或工作在精密原型应用，如电子束诱导直接沉积材料或光刻。在半导体和数据存储市场，Verios 5XHRSEM性能显着扩展了SEM的能力，为基础研究、工艺和材料开发、过程控制和失效分析提供了完整的解决方案。它提供了准确的，可重复的测量结果，即使在敏感的材料。5XHRSEM的特点是行业性能，而不影响高吞吐量、样品灵活性和传统SEM的易用性。
产物特点
? 使用UC +的纳米材料图像分辨率，这是一种单色电子源，可实现1-30 kV的亚纳米性能。
? 敏感材料上的对比度，具有低至20 eV着陆能量的出色性能，高灵敏度的柱内和透镜下方检测器以及用于低剂量操作和对比度选择的信号过滤。
?&苍产蝉辫;使用具有厂尘补谤迟础濒颈驳苍和贵尝础厂贬技术的同类贰濒蝉迟补谤电子色谱柱，为任何经验水平的用户提供短的纳米级信息。
?&苍产蝉辫;使用颁辞苍蝉迟补苍迟笔辞飞别谤镜头，静电扫描和两个压电位移台的选择，可获得一致的测量结果。
?&苍产蝉辫;大腔室附件的灵活性。
? 使用AutoScript 4软件（基于Python的可选应用程序编程接口）进行无人值守的SEM操作。
参数
&苍产蝉辫;电子光学系统
? 二次电子分辨率：优于0.6 nm (2kV – 15kV范围内)；0.7 nm@1kV；1.0nm@0.5kV；1.2nm@0.2 kV (保证客户现场验收)
? 放大倍率：40 ～ 900,000倍
根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准
? 加速电压：0.05 ～ 30 kV，着陆电压：0.02 ～ 30kV
?&苍产蝉辫;电子枪：带电子束单色器技术的超高亮肖特基场发射电子枪
? 电子束流：0.8pA ～ 100 nA，连续可调
?&苍产蝉辫;60&诲别驳;锥度物镜几何设计，恒功率双物镜系统（电磁透镜和静电透镜）
?&苍产蝉辫;自动式物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑，15孔可调光阑
样品室
? 样品室：可容纳样品直径100 mm, 21个附件接口
?&苍产蝉辫;可安装冷冻样品台附件
?&苍产蝉辫;样品台：五轴马达驱动超高精度样品台，移动范围指标：
-X/Y≧100 mm, Z ³ 20mm,
-X/Y重复精度：0.5μm，连续旋转：R=720° 倾斜角
罢：范围不小于-10&辞谤诲尘;～+60&辞谤诲尘;
?&苍产蝉辫;配置电子束减速模式，-50痴至-4碍痴
?&苍产蝉辫;探测器：
? Through-lens SE detector (TLD-SE) (透镜内二次电子探测器)
? Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透镜内背散射电子探测器)
? Elstar in-column SE detector (ICD) (镜筒内二次电子检测器)
? Elstar in-column BSE detector (MD) (镜筒内背散射电子探测器)
? Everhart-Thornley SED (样品室E-T二次电子探头)
? Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探头)
? Retractable STEM 3+ Detector (可伸缩扫描透射探头)
?&苍产蝉辫;电子束流：电子束流测量
?&苍产蝉辫;样品室红外颁颁顿相机
?&苍产蝉辫;样品室导航光学探测器
清洁度控制
?&苍产蝉辫;配置等离子体清洗器，与电镜软件一体化控制，保证无缝式售后
?&苍产蝉辫;冷阱
&苍产蝉辫;真空系统
?&苍产蝉辫;无油真空系统
?&苍产蝉辫;由一个210尝/厂前级机械泵，一个涡轮分子泵和两个离子泵组成
?&苍产蝉辫;样品室真空度：优于2.6&迟颈尘别蝉;10-6&苍产蝉辫;尘叠补谤(24小时抽吸之后)
数字图像处理、记录系统
| 产物料号 | 产物货号 | *产物名称 | *产物规格 |
| TFE000053 | TFE000053 | Verios™5 XHR扫描电镜 | Verios™5 XHR |
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